掃描電鏡中的電子背散射成像原理解析
日期：2023-11-24
掃描電子顯微鏡（SEM）中的電子背散射（BSE）成像是一種獲取樣品表面組成信息的技術。以下是電子背散射成像的基本原理解析：
電子源產生： 掃描電子顯微鏡使用電子束作為探針。這個電子束由電子槍產生，經過適當的調節后照射到樣品表面。
與物質相互作用： 電子束與樣品中的原子發生相互作用。在這個過程中，電子可以被樣品原子中的外層電子散射，其中一部分電子被散射到背面。
背散射電子產生： 樣品中的高原子序數元素會引起更多的電子背散射。這些背散射電子具有高能量和高角度，與樣品的元素成分相關。
探測器捕獲： 安裝在掃描電鏡中的探測器用于捕獲背散射電子。探測器測量電子的能量和角度，并將這些信息轉化為圖像。
成像和分析： 得到的圖像顯示了樣品表面的組成信息。高原子序數的區域通常顯示為明亮的區域，而低原子序數的區域則較暗。這使得觀察樣品的元素分布和化學組成成為可能。
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作者：澤攸科技
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