在掃描電鏡（SEM）中，樣品的放置角度與位置對圖像質量、成像深度、對比度、分辨率等有著顯著的影響。優化樣品的放置角度與位置，可以提高圖像的質量并減少成像過程中可能出現的畸變。以下是一些優化樣品放置角度與位置的方法：

1. 樣品放置角度

a. 優化入射電子束角度

電子束在掃描電鏡中通常是垂直入射到樣品表面的。如果樣品表面相對于電子束的入射角度不合適，可能會導致表面傾斜，影響成像質量，甚至產生畸變。為了減少這些問題，通常選擇以下幾種放置角度：

平行于水平面放置：將樣品平行放置，確保電子束垂直入射。這對于表面平整的樣品非常有效。

輕微傾斜放置：對于不規則的樣品或者存在細微結構的樣品，輕微傾斜樣品可以幫助提高對比度和減少陰影效應。通常，傾斜角度可以控制在 5° 至 15° 之間。

大角度傾斜：如果要觀察樣品的不同側面或微觀結構，可以將樣品傾斜至較大的角度（例如 30° 或 45°）。但要注意，過大的傾斜角度可能會導致成像的深度和對比度的下降，且可能無法顯示整個表面。

b. 考慮樣品的形狀和特征

對于不同形狀和特征的樣品，放置角度的選擇是至關重要的。例如，尖銳的物體、細小的納米結構、或者不規則的表面，可能需要特殊的放置角度來獲得高質量成像效果。通過傾斜樣品，可以有選擇性地優化特定區域的成像質量。

2. 樣品的準確定位

a. 樣品對準電子束

確保樣品表面平整且對準電子束中心，以獲得清晰的圖像。可以通過顯微鏡的 自動樣品對準 或 手動微調 來實現：

使用 焦距調整：調整聚焦以確保樣品表面清晰。

使用 樣品定位臺：準確調整樣品的 x、y、z 位置，確保樣品的正確放置和對準。

微調操作：通過細微的移動調整樣品位置，可以進一步提高成像質量，減少像差。

b. 避免樣品偏移

如果樣品在掃描過程中發生微小位移，會影響圖像質量，造成模糊或不連貫的結果。為了防止這種情況，確保：

樣品固定：樣品應該穩固地固定在樣品臺上，避免樣品在掃描過程中移動。

使用 粘合劑 或 導電膠：對于非導電材料，使用導電膠或粘合劑可以幫助穩定樣品。

c. 樣品表面清潔度

樣品表面的清潔度直接影響電子束的掃描效果。樣品表面上存在灰塵或其他污染物，可能會引起散射，影響成像的質量。確保樣品表面清潔，并避免在掃描過程中再次污染。

3. 考慮工作距離（Working Distance）

工作距離是指掃描電鏡的物鏡與樣品表面之間的距離。工作距離的優化對于圖像的分辨率和深度至關重要：

較短的工作距離：較短的工作距離通常能提供更高的分辨率，但也可能導致樣品表面過于傾斜或失焦。優化工作距離可以提高成像清晰度，特別是當樣品表面較為平整時。

較長的工作距離：較長的工作距離適用于樣品表面不平整、形狀不規則時，可以幫助增加成像深度，使得不平整表面的結構得以完整呈現。

4. 使用樣品傾斜臺進行精細調節

許多掃描電鏡配備了 樣品傾斜臺，可以方便地在多個方向上微調樣品的角度和位置。通過調整樣品的傾斜角度，可以：

增強樣品表面某些特征的可見性。

通過選擇合適的入射角，減少樣品的陰影效應或過度反射。

使樣品表面盡量與電子束的入射方向平行，從而提高成像的清晰度和對比度。

5. 優化成像條件

除了優化樣品的角度和位置，其他一些成像條件也會影響圖像的質量：

a. 選擇適當的加速電壓

加速電壓決定了電子束的能量，過高的電壓可能會導致樣品過度激發，產生非期望的信號或損傷；而過低的電壓可能會導致分辨率不夠。一般來說，低加速電壓有助于提高表面細節的成像效果，而高加速電壓適用于更深層次的成像。

b. 調整掃描速度和探測器設置

掃描速度：調整掃描速度可以幫助提高圖像的細節，較低的掃描速度通常提供更清晰的圖像，但需要較長的成像時間。

探測器選擇：根據樣品的性質，選擇合適的探測器類型，如二次電子探測器（SE）和背散射電子探測器（BSE），有助于獲取不同類型的信息。對于高分辨率成像，建議使用 SE 探測器。

6. 利用模擬和虛擬對焦技術

一些掃描電鏡配備有 虛擬對焦 或 深度成像 技術，可以在不同的焦距下合成圖像，增強圖像的深度信息。當樣品表面不平整時，虛擬對焦技術尤其有用，可以在多個焦點上獲取圖像，并通過后處理合成更高質量的圖像。

以上就是澤攸科技小編分享的如何在掃描電鏡中優化樣品的放置角度與位置。更多掃描電鏡產品及價格請咨詢