在掃描電鏡 (SEM) 中，焦距調整是確保圖像清晰度和分辨率的關鍵步驟。焦距的調整主要通過 電子束的聚焦 來完成，焦距變化會影響到樣品的成像清晰度和深度信息。不同的掃描電鏡設備可能有略微不同的操作方式，但大致過程是相似的。以下是調整掃描電鏡焦距的一般步驟：

1. 調整電子束的聚焦

步驟：

啟動掃描電鏡并選擇合適的放大倍率：

在開始調整焦距之前，首先要設置適當的放大倍率（magnification）。較高的放大倍率通常需要更精細的焦距調整。

使用聚焦控制旋鈕：

大多數掃描電鏡都配有 粗調和細調的聚焦旋鈕。通常，粗調旋鈕用于快速調整焦距，細調旋鈕則用于微調以達到合適的焦點。

調整時，觀察樣品表面的圖像清晰度。粗調旋鈕可以幫助你快速對準大致的焦距，而細調旋鈕則幫助你精細調整，直到圖像達到高質量清晰度。

檢查圖像清晰度：

焦距調整的目標是使樣品的圖像盡可能清晰。通常，樣品表面會有更多細節顯現出來，圖像會更加銳利，邊緣更加清晰。過度或不足的聚焦都會導致圖像模糊或畸變。

微調加速電壓（可選）：

如果需要，你還可以微調 加速電壓。加速電壓影響電子束的能量，間接影響焦點的深度。如果焦點深度不足或出現模糊，可以嘗試調節加速電壓來幫助改善圖像清晰度。

2. 調整物鏡的焦距

在掃描電鏡中，物鏡聚焦是實現高分辨率圖像的關鍵。物鏡的焦距通常是通過物鏡透鏡的調節來實現的。

步驟：

選擇合適的物鏡：

根據掃描區域和放大倍率選擇適當的物鏡。在大多數電鏡中，物鏡的調節直接控制焦距和圖像的深度。

調整物鏡焦距：

物鏡焦距一般由掃描電鏡的控制系統或通過物鏡本身的調節進行調整。通過旋轉物鏡調節旋鈕來微調焦距，確保樣品在你需要的深度范圍內對焦。

觀察圖像變化：

聚焦過程中，圖像清晰度會發生變化，直到圖像達到清晰的狀態。

3. 使用圖像對焦輔助工具

現代掃描電鏡通常配有自動對焦功能和圖像處理工具，可以幫助自動或半自動地調整焦距。這些輔助工具能夠幫助提高焦距調整的效率和準確性，尤其是在使用較高放大倍率時。

步驟：

啟用自動對焦功能（如果有）：

在控制面板中，選擇 自動對焦（Autofocus） 功能，電鏡會自動調整焦距，使圖像達到高質量清晰度。

使用樣品表面圖像分析：

如果電鏡提供圖像分析工具，可以利用表面特征來輔助調整焦距。系統通過分析圖像中的樣品表面結構，自動調整焦距。

4. 考慮樣品的形狀和表面特征

不同樣品的形狀和表面特征會影響焦距的調整。例如，平坦樣品通常容易聚焦，而形狀不規則或粗糙的樣品可能需要更多的焦距調整以確保整個表面清晰。

提示：

深度對比：對于高反差樣品（如厚度較大的樣品或表面不規則的樣品），調整焦距時要特別注意樣品的深度，以避免圖像模糊。

樣品傾斜：樣品如果傾斜，焦距可能不均勻，因此需要進行相應的樣品定位和調整。

5. 深度信息和焦深的影響

焦距的調整不僅僅是為了獲得清晰的圖像，還關系到 焦深（Depth of Focus）。焦深是指圖像在不同深度的清晰度范圍，掃描電鏡的焦深受以下因素影響：

放大倍率：較高的放大倍率通常會有較小的焦深，導致圖像焦距敏感。

電子束的能量：較高的加速電壓可以增大焦深，但會降低圖像的分辨率。

樣品表面形狀：較為復雜或不平整的樣品表面會導致不同區域的焦距有所不同，因此需要仔細調整。

6. 調節掃描模式的焦距設置

如果使用的是不同的掃描模式（例如，背散射電子模式、二次電子模式等），可能需要根據掃描模式調整焦距設置。不同的掃描模式可能會對焦距有不同的要求，確保在正確的模式下調整焦距。

以上就是澤攸科技小編分享的掃描電鏡中如何調整焦距。更多掃描電鏡產品及價格請咨詢