掃描電子顯微鏡（SEM）中的電子束對樣品會產生多種影響，包括以下幾個方面：

電子束散射：電子束與樣品中的原子和分子相互作用時，會發生散射現象。這種散射會導致電子在樣品中的方向改變，并散布到不同的角度和位置上。散射電子通過探測器收集后，可以用于獲取樣品的反射電子圖像和散射電子圖像。

能量轉移：電子束與樣品發生相互作用時，會將能量傳遞給樣品。這種能量轉移可能導致樣品加熱，尤其是在高電子束密度或長時間照射下。樣品加熱可能導致材料的結構變化、相變或熱解等效應。

輻照損傷：高能電子束與樣品相互作用時，可能會引起輻照損傷。這包括樣品中的電子束誘導位移、空位形成和晶格缺陷等。輻照損傷可能導致樣品性質的變化，例如晶格畸變、晶體缺陷的增加以及材料性能的退化。

電子激發：電子束的能量可以激發樣品中的電子。這可能導致電子從基態躍遷到激發態，從而引起樣品的熒光發射。利用樣品熒光發射的特征，可以進行元素分析和成分表征。   

ZEM15臺式掃描電鏡能譜一體機 

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