掃描電鏡（SEM）的分辨率通常比光學顯微鏡高得多，能夠實現納米級別的分辨率。其分辨率受到多種因素的影響，包括電子束的能量、焦距、探針尺寸等。一般來說，常規的SEM系統的分辨率在1到10納米之間，而一些先進的高分辨率SEM系統甚至可以達到亞納米級別的分辨率。

以下是影響SEM分辨率的一些關鍵因素：

電子束能量：電子束的能量會影響其在樣品表面的穿透深度和散射范圍，從而影響圖像的分辨率。一般來說，較高能量的電子束能夠實現更高的分辨率。

探針尺寸：探針尺寸指的是掃描電子束的直徑，較小的探針尺寸意味著更高的分辨率。現代SEM系統通常配備了精細的探針尺寸調節功能，可以實現納米級別的探針尺寸。

樣品表面特性：樣品的表面特性會影響電子束與樣品的相互作用，進而影響圖像的清晰度和分辨率。對于不同類型的樣品，可能需要調整SEM系統的工作參數以獲得高質量的分辨率。

焦距：SEM系統的焦距也會影響分辨率，通常情況下，較長的焦距可以實現更高的分辨率。

探測器性能：SEM系統配備的探測器性能也會影響圖像的分辨率和質量。一些先進的探測器能夠提供更高的信噪比和更好的圖像細節。

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