在掃描電鏡（SEM）中，樣品污染是一個常見的問題，它會影響成像質量和數據的準確性。處理和預防樣品污染的方法包括清潔樣品、改進樣品準備過程、優化SEM操作以及維護設備。以下是一些具體的建議和步驟：

1. 樣品清潔和準備

清潔樣品

物理清潔：使用無塵布、空氣吹掃器或超聲波清洗器清除樣品表面的塵埃和顆粒。

化學清潔：根據樣品材料選擇合適的化學溶劑（如乙醇、異丙醇、丙酮等）清洗樣品，注意避免使用可能對樣品造成損害的化學品。

等離子清洗：使用等離子清洗機去除有機污染物和表面氧化層。

樣品處理

烘干：確保樣品完全干燥，避免水分或溶劑殘留導致的污染和真空系統問題。

鍍膜：對于導電性差的樣品，進行金屬鍍膜（如金、鉑、碳等），提高樣品的導電性，減少充電效應。

2. 樣品操作和存儲

操作

潔凈環境：在潔凈環境中操作樣品，避免接觸污染源。使用潔凈手套、鑷子和工具處理樣品。

防塵罩：使用防塵罩覆蓋樣品，避免暴露在空氣中。

存儲

密封存儲：將樣品存放在密封容器中，防止灰塵和其他污染物進入。

干燥存儲：使用干燥劑保持樣品存儲環境干燥，避免濕氣污染。

3. SEM操作優化

高真空模式

提高真空度：確保SEM工作腔體內的真空度達到要求，定期維護真空系統，檢查和更換真空泵油和密封件。

預抽真空：在正式觀測前，先對樣品和樣品臺進行預抽真空，確保殘留氣體和水分被有效排除。

低電壓成像

降低加速電壓：使用低電壓成像，可以減少樣品表面污染物的激發，減小電子束對樣品的損傷。

4. SEM維護和保養

定期清潔

清潔樣品室：定期清潔SEM樣品室和樣品臺，避免污染物累積。使用無塵布和適當的清潔劑。

更換密封件：定期檢查和更換真空系統的密封件，確保系統的密封性和真空度。

監測和校準

定期校準：定期對SEM進行校準，確保設備性能穩定，圖像質量可靠。

污染監測：使用標準樣品監測SEM的污染情況，及時發現和處理設備污染問題。

以上就是澤攸科技小編分享的如何處理掃描電鏡中的樣品污染的介紹。更多掃描電鏡產品及價格請咨詢