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掃描電鏡的掃描范圍可以放大或縮小嗎?

日期:2025-07-10

掃描電鏡(SEM)的掃描范圍是可以放大或縮小的,而且這正是實現(xiàn)“放大倍數(shù)”變化的核心原理。

一、什么是掃描范圍?

在 SEM 中,掃描范圍指的是電子束在樣品表面“掃描”的物理面積。

掃描范圍大:顯示的是樣品的大區(qū)域,放大倍數(shù)低;

掃描范圍小:電子束集中掃描一個小區(qū)域,放大倍數(shù)高。

二、如何調整掃描范圍?

1. 通過調整放大倍數(shù)來控制

放大倍數(shù)越高,實際掃描的面積越小;

例如,從 500 倍放大到 5000 倍時,掃描范圍會變成原來的 1/10。

2. 使用軟件中的縮放控制

多數(shù) SEM 軟件提供“Magnification”或“Zoom”調節(jié)功能,滑動條或數(shù)值輸入;

向上調節(jié)放大倍率 = 減小掃描范圍;

向下調節(jié)放大倍率 = 擴大掃描范圍。

3. 使用“縮放區(qū)域”功能

有些設備允許用戶框選一個區(qū)域進行“局部縮放”;

這會把焦點集中到你指定的掃描范圍里。

三、為什么要改變掃描范圍?

縮小掃描范圍(放大):用于觀察樣品的微觀結構,如晶粒、表面粗糙度、裂紋、納米顆粒等;

擴大掃描范圍(縮小):用于定位、整體結構觀察、找目標區(qū)域。

四、注意事項

放大倍率與分辨率無直接關系

分辨率取決于電子束質量、樣品導電性、工作距離等。

掃描范圍縮小時圖像更容易抖動或模糊

需要更精細的對焦;

控制樣品穩(wěn)定,避免漂移。

倍率越高,掃描范圍越小,比例尺越短

這對圖像標尺和尺寸測量有重要影響。


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作者:澤攸科技


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