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掃描電鏡樣品需要多大尺寸才能放進去?

日期:2025-08-29

掃描電鏡(SEM)樣品尺寸能否放入主要取決于 樣品室大小、樣品臺載物面積 和探頭或樣品夾具的空間限制。一般來說可以這樣考慮:

1. 樣品臺和樣品室限制

樣品室直徑和高度:大多數臺式 SEM 樣品室直徑約 50–100 mm,高度 30–70 mm;高端科研用 SEM 可能更大。

樣品臺載物直徑:通常為 25–50 mm(部分可擴展至 100 mm)。

注意:樣品周邊要留有一定空間,以便電子束掃描時不碰到腔壁或探頭。

2. 樣品厚度

樣品厚度不能太高,否則可能碰到 透鏡或探測器,導致無法移動或對焦。

對高分辨率 SEM,樣品厚度一般建議 ≤ 5–10 mm。

3. 樣品重量

樣品臺通常有載重限制(幾十克到幾百克不等),過重可能影響 定位精度 和 臺面運動。

4. 樣品形狀

盡量選擇 平整底面,方便固定。

高出或不規則樣品可能需要 特制夾具 或 削薄處理。


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作者:澤攸科技


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