在掃描電鏡（SEM）圖像中，識(shí)別噪聲主要依靠觀察圖像特征、定量分析和實(shí)驗(yàn)對比。噪聲會(huì)降低分辨率、掩蓋樣品真實(shí)結(jié)構(gòu)，常見來源包括電子束不穩(wěn)定、探測器電子學(xué)噪聲、環(huán)境電磁干擾、樣品電荷積累等。

一、從圖像特征識(shí)別噪聲

隨機(jī)斑點(diǎn)或顆粒狀

類似“雪花”或椒鹽噪聲，不隨樣品結(jié)構(gòu)變化。

多出現(xiàn)在低信號(hào)強(qiáng)度區(qū)域，如高放大倍數(shù)或低束流。

條紋或周期性干擾。

橫向或縱向條紋規(guī)律性強(qiáng)，通常來自電源干擾或掃描漂移。

模糊或拖影。

邊緣不清晰，可能是電子束漂移或振動(dòng)造成，而非樣品結(jié)構(gòu)。

顆粒對比度異常高。

灰度變化不規(guī)則、與樣品結(jié)構(gòu)不對應(yīng)，通常是噪聲。

二、定量判斷方法

對比均勻區(qū)域。

在樣品平坦區(qū)域，灰度應(yīng)均勻。

若灰度出現(xiàn)高頻抖動(dòng)或顆粒感，即可能是噪聲。

頻域分析（FFT）。

對圖像做快速傅里葉變換。

隨機(jī)噪聲表現(xiàn)為高頻散點(diǎn)。

周期性噪聲表現(xiàn)為規(guī)律條紋或亮點(diǎn)。

信噪比評估。

計(jì)算樣品特征信號(hào)與背景噪聲比值。

低信噪比圖像中，噪聲會(huì)與結(jié)構(gòu)信號(hào)混雜。

三、實(shí)驗(yàn)判斷技巧

多次采集同一區(qū)域。

樣品真實(shí)結(jié)構(gòu)保持不變。

噪聲隨機(jī)變化。

放大倍數(shù)變化。

樣品結(jié)構(gòu)隨幾何比例縮放。

噪聲顆粒大小不隨比例變化。

調(diào)節(jié)束流或積分時(shí)間。

增加束流或積分時(shí)間 → 真實(shí)結(jié)構(gòu)更清晰。

若隨機(jī)顆粒增強(qiáng)或消退 → 屬于噪聲。