判斷掃描電鏡（SEM）的聚焦是否正確，可以從以下幾個方面進行觀察與驗證：

圖像清晰度：

聚焦正確時，圖像邊緣銳利、細節分明、顆粒或表面紋理清晰可辨；若圖像模糊、邊緣拖影或顆粒融合，說明焦點偏離。

放大倍率變化時的穩定性：

在低倍下初步聚焦后，逐步放大倍率。如果聚焦正確，放大后圖像仍保持清晰；若放大后突然變模糊，則說明焦點未對準樣品表面。

焦距調節（Focus 或 Z 軸調整）：

在調焦過程中，圖像應經歷由模糊—清晰—再模糊的變化過程。若變化不明顯或找不到清晰點，可能存在樣品傾斜或電子束穩定性問題。

像移現象檢查：

聚焦時若圖像在屏幕上明顯漂移，通常說明樣品未處于電子束的焦平面上，需調整工作距離（WD）或樣品高度。

輔助功能檢查：

某些SEM配有“自動聚焦”（Auto Focus）功能，可快速優化焦點。自動聚焦后仍模糊，需檢查樣品導電性、表面清潔度或是否存在漂移。

正確聚焦的關鍵是：在樣品導電性良好、束流穩定、掃描速度適中的條件下，找到圖像最清晰的焦點位置。