什么是掃描電鏡的樣品鍍膜？為什么需要？
日期：2023-08-14
掃描電子顯微鏡（SEM）的樣品鍍膜是在需要觀察的樣本表面覆蓋一層薄膜，通常是金屬薄膜，以改善樣本在SEM中的成像性能。這種鍍膜過(guò)程可以通過(guò)物理氣相沉積（PVD）或化學(xué)氣相沉積（CVD）等方法進(jìn)行。
樣品鍍膜的主要目的是：
增加導(dǎo)電性： 許多樣本，特別是非導(dǎo)電的生物樣本或絕緣材料，往往在電子束照射下會(huì)產(chǎn)生電荷積累，導(dǎo)致圖像失真或偽影。通過(guò)在樣本表面鍍上導(dǎo)電薄膜，可以有效消除電荷積累問(wèn)題，使電子束能夠更好地通過(guò)樣本表面。
增加對(duì)比度： 金屬薄膜通常比樣本本身更容易與電子束相互作用，從而產(chǎn)生更強(qiáng)的二次電子和后向散射電子，這可以提高圖像的對(duì)比度，使細(xì)節(jié)更容易觀察。
保護(hù)樣本： 一些樣本可能在高真空環(huán)境中易受損或氧化。通過(guò)鍍上一層薄膜，可以保護(hù)樣本免受環(huán)境影響，同時(shí)還可以保留樣本的形狀和結(jié)構(gòu)。
增加細(xì)節(jié)顯示： 鍍膜可以使樣本的表面特征更突出，從而更容易觀察到微小的細(xì)節(jié)和結(jié)構(gòu)。
化學(xué)成分分析： 對(duì)于金屬鍍膜，還可以使用能量色散X射線譜（EDS）等附加設(shè)備對(duì)樣本進(jìn)行化學(xué)成分分析，以獲取樣本表面元素的分布信息。
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作者：澤攸科技